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均温版氦质谱检漏

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  VC直译叫蒸汽腔，业内一般叫平面热管、均温板、均热板。随着芯片功率密度的不断提升，VC已经广泛应用在CPU、NP、ASIC等大功耗器件的散热上。

  如果产品密封不良，则会导致散热效率降低，所以需要检漏。

  通过铜管对腔体抽真空，当真空度和氦检仪的本底达到一定数值后，在产品表面喷吹氦气，如果产品有泄露，氦气会通过漏孔进入产品内部，最终被氦检仪捕捉到，实时显示漏率，达到查找漏点的目的。也可以将产品包裹在氦气的环境下，以达到检测整体漏率的目的。

         

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